2025年9月18日,一名男子走入ASML在德国柏林开办的一家生产芯片工厂。(Sean Gallup/Getty Images)
中国某芯片企业疑试图通过逆向工程制造山寨光刻机,让技术人员私拆了一台阿斯麦(ASML)制造的DUV,然后却无法将其复原,只能向阿斯麦求助,却被阿斯麦的技术团队看出了事情的端倪。
美国外交杂志《国家利益》(The National Interest)的高级编辑、地缘政治分析师布兰登·魏切特(Brandon Weichert)10月18日在X平台上发帖,向网友们分享了上述事件。
据贴文披露,中国某企业用于生产芯片的DUV机器最近坏了,打电话给荷兰制造商ASML公司请求帮助维修。ASML派来的技术人员到现场却发现,是中方的人员在拆卸机器并试图将其重新组装时把机器弄坏了。
被拆的这台机器是ASML早期的DUV型号。这类设备虽不及EUV先进,但仍能支持14纳米芯片的制造甚至部分更先进制程,是中国半导体厂商依赖的重要机型。
魏切特分析指出,中企的技术人员之所以拆卸旧款ASML DUV光刻机,是因为他们试图透过拆卸和组装旧款光刻机的方式,对现有设备进行逆向工程,以期找到自主研发更先进版本的方案,但是显然他们没能成功,而这或许让他们逃避西方制裁的计划都泡汤了。
他写道:“我不知道ASML是否真的完成了维修工作。虽然中国与这家荷兰公司签订了维修协议,但考虑到客户(中国)的不当行为导致了机器故障,我不认为这份合约会得到履行。”
“北京正变得越来越绝望”,魏切特接着写道,“事实上,我们知道他们的经济正在放缓,自新冠疫情以来,习*近*平的统治一直很脆弱。”
Apparently ASML DUV machines that China has to make their chips recently broke down. They called the Dutch company for help repairing it. ASML sent some techs. They discovered that the Chinese broke the machine when they disassembled it and tried to put it back together.1/
— Brandon Weichert(@WeTheBrandon) October19,2025
公众号“极道”10月20日发文进一步透露,当ASML的技术人员到达现场后发现,机器内部多个关键模块错位、镜片划伤、真空腔体密封失效,甚至部分传感器被错误接线烧毁。他们判断,这不是普通的机器故障,很可能是中方人员拆解不当造成的损坏。
文中介绍,ASML的光刻机结构极其复杂,内部包含上千个高精度光学、流体与控制模块,很多零件甚至由多国联合制造,设计严密且不可逆,机器内部很多关键部件甚至被封装成了黑盒。一般的技术人员如果强行拆解,这些部件就会自动锁死。
按照国际惯例,如果技术人员确认机器是因客户擅自拆解核心部件造成的损坏,ASML有权拒绝为这家中企提供后续服务。这意味着,这台机器很可能就此报废了。
由于美国政府在半导体等尖端技术方面加强了对中共的制裁,在美方的要求下,荷兰ASML已停止向中国企业出售最先进的EUV(极紫外光)设备,同时收紧了对DUV的供应限制。
在中美贸易战科技战不断升温的背景下,这起事件凸显了中方在半导体先进制程领域所面临的困境与焦虑。